在半导体制造这一高精尖领域,高纯氦气扮演着不可或缺的角色。
十堰信安达工业气体厂家介绍,高纯氦气首先被用作半导体晶圆刻蚀过程中的保护气体。
其化学性质极为稳定,在刻蚀的高温、高能量环境下,不会与半导体材料及刻蚀气体发生反应,有效避免了晶圆表面被污染,确保芯片制造的高精度与高良品率。同时,在离子注入工艺里,高纯氦气也用于维持稳定的工艺环境,保障离子注入的准确性与均匀性。
此外,在半导体制造设备的冷却系统中,高纯氦气凭借良好的热导性,能快速带走设备运行产生的热量,保证设备稳定运行,提升生产效率。
随着半导体产业不断向更高精度、更大规模发展,对高纯氦气的质量与供应稳定性要求也愈发严格,信安达工业气体将持续提升产品质量,满足行业需求。