常见高纯气体的用途

环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；

氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；

氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂；

二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂；甲硫醇用于合成染料、医药、农药；

乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等

有机高纯气体

烷烃类：

甲烷（CH4）、乙烷（C2H6）、丙烷（C3H8）、环丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、异丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）、三氟甲烷（CHF3）、环氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等；

烯烃类：

乙烯（C2H4）、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、异丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、顺-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、氯乙烯（C2H3Cl）等；

炔烃类：

乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等；

其他：

二甲醚（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸剂（C2H4O-CO2)等

无机高纯气体

1、空气（Air）、氢气（H2）、氧气（O2）、氮气（N2）、氩气（Ar）、氦气（He）、氖气（Ne）、氪气（Kr）、氙气（Xe）等；

2、氨气（NH3）、氯气（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亚氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氢（HCl）、溴化氢（HBr）、硫化氢（H2S）等；

3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、  四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等